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某中小型光电器件创造企业的应用于长三角经济圈型沿海地区,通常的产出晶圆和电源芯片。在的产出整个过程中,晶圆切除和打磨时段.所产生很大研磨设备液废气,单日废气量约50吨。仍然废气中带有高质量浓度漂浮物、金属材料化合物及有机物插入剂,之间废气会对周围环境从而造成加重污染问题,企业的人们非常搭建职业 办理配制。
生活污水物质及从何而来
粉磨液废水处理方法通常特征于晶圆加工处理中的生物厂家磨光(CMP)流程,通常被有害物质包扩:
浮悬湿润颗粒物物
:二被氧化反应硅、被氧化反应铝等磨细粒状,粒级在0.1-1μm,有机废气浓度万代高达2000mg/L。
合金金属铝离子
:铜、铁、锌等,来源抛光处理垫受损及晶圆外表面重金属层,铜化合物溶液浓度约50mg/L。
有机的使用剂
:比如外壁活性酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性物质
:pH值震荡大,基本上在2-11中间。
处里技术的流程
争对化工废水特点,使用“预整理+生物化+深层次整理”搭配组合加工过程:
调接池
:平衡水质检测发电量,添加图片酸碱度的调节pH至中性化。
沥青混凝土沉垫
:加药系统PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),剔除自动隐藏物和溶液,沉降后SS剔除率>90%。
催化反应氧化反应
:通过Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解可挥发获取剂,COD取除率达60%。
怪物加工处理
:MBR膜动物不起作用器进步骤挥发剩余时间巧妙物,COD减少为100mg/L以内。
铝离子对调
:专门用树脂胶树脂吸附铜正离子,溢水铜水分含量<0.5mg/L。
砂滤+活力性炭筛选
:提高认识溢水清亮,达标《将污水综上排污要求》(GB8978-1996)特级要求。
进而目的
系統执行维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。
使用率达40%,多余标准废气,年减小废气废气1.八万吨。
治理 投资成本约15元/吨,远少于相关行业总值。